I. Ứng dụng của Kính hiển vi Nikon Eclipse LV150N

Model LV150N là một công cụ mạnh mẽ và linh hoạt, được sử dụng rộng rãi trong nhiều ngành nghề công nghiệp khác nhau:

1. Công nghiệp điện tử và bán dẫn:

   • Kiểm tra các wafer (đế bán dẫn), photomask, reticle, chip bán dẫn.
   • Phát hiện khuyết tật, vết nứt, hạt bẩn, sai lệch trong quá trình chế tạo mạch tích hợp (IC).
   • Phân tích cấu trúc lớp mỏng và các đường mạch siêu nhỏ.
   • Kiểm tra màn hình phẳng (FPD - Flat Panel Displays).

2. Khoa học vật liệu và luyện kim:

   • Quan sát cấu trúc vi mô của kim loại (hạt, pha, bao thể, vết nứt), gốm sứ, polyme, vật liệu composite.
   • Đánh giá chất lượng vật liệu, phân tích hư hỏng, kiểm tra mối hàn.

3. Sản xuất chính xác và khuôn mẫu:

   • Kiểm tra chất lượng bề mặt của các chi tiết gia công chính xác, khuôn mẫu.
   • Đánh giá độ hoàn thiện bề mặt, phát hiện các khuyết tật nhỏ.

4. Kiểm soát chất lượng (QC) và Nghiên cứu & Phát triển (R&D):

   • Là công cụ không thể thiếu trong các phòng thí nghiệm QC và R&D để phân tích và kiểm tra các mẫu vật trong các ngành công nghiệp đa dạng.

II. Các tính năng và công nghệ nổi bật của Nikon Eclipse LV150N

LV150N được xây dựng trên nền tảng quang học và cơ khí vững chắc của Nikon, mang lại hiệu suất vượt trội và khả năng tùy biến cao:

1. Hệ thống quang học CFI60-2:

   • Sử dụng hệ thống quang học vô cực (infinity optical system) CFI60-2 độc quyền của Nikon. Hệ thống này cung cấp hình ảnh sắc nét, độ tương phản cao, độ phân giải vượt trội và hiệu chỉnh quang sai tốt trên toàn bộ trường nhìn.
   • Đặc biệt, các vật kính thuộc dòng CFI60-2 được thiết kế với khoảng cách làm việc dài (Long Working Distance - LWD) và khẩu độ số (Numerical Aperture - NA) cao, cho phép quan sát chi tiết trên các mẫu vật có độ chênh lệch chiều cao.

2. Hệ thống chiếu sáng phản xạ (Episcopic Illumination) đa dạng:

   • Có thể sử dụng nguồn sáng Halogen 12V-50W hoặc đèn LED (tùy chọn cấu hình).
   • Hỗ trợ nhiều phương pháp quan sát quan trọng cho công nghiệp:
     • Trường sáng (Brightfield - BF): Phương pháp quan sát tiêu chuẩn.
     • Trường tối (Darkfield - DF): Lý tưởng để làm nổi bật các khuyết tật bề mặt, vết trầy xước, hạt bụi.
     • Tương phản nhiễu xạ vi sai (Differential Interference Contrast - DIC): Tạo hiệu ứng 3D, làm nổi bật những thay đổi rất nhỏ về độ cao trên bề mặt mẫu.
     • Phân cực đơn giản (Simple Polarizing - POL): Để phát hiện ứng suất hoặc phân tích vật liệu lưỡng chiết.
     • Huỳnh quang phản xạ (Epi-Fluorescence): (Với phụ kiện tùy chọn) để quan sát các mẫu có tính chất phát quang.
     • Giao thoa kế hai chùm tia (Two-beam Interferometry): (Với phụ kiện tùy chọn) để đo độ dày lớp mỏng, độ phẳng bề mặt.

3. Thiết kế mô-đun:

   • Là một hệ thống rất linh hoạt với thiết kế mô-đun, cho phép người dùng tùy chỉnh kính hiển vi với nhiều phụ kiện và module khác nhau (ống quan sát, vật kính, bàn mẫu, bộ đèn...) để phù hợp với các ứng dụng và yêu cầu cụ thể.

4. Bàn mẫu (Stages) lớn và chính xác:

   • Tương thích với nhiều loại bàn cơ khí X-Y khác nhau, cho phép di chuyển mẫu vật trên một diện tích rộng, phù hợp với các wafer 150mm hoặc các chi tiết lớn khác.
     • Ví dụ: LV-S32 (75 x 50 mm), LV-S64 (150 x 100 mm), LV-S6 (150 x 150 mm).
   • Có thể trang bị thêm các phụ kiện như giá giữ wafer (wafer holder) hoặc tấm chống tĩnh điện (ESD plate).

5. Mâm vật kính (Nosepiece):

   • Thường là mâm 5 hoặc 6 lỗ, có thể là loại thủ công (manual) hoặc tự động (motorized - LV150NA), cho phép chuyển đổi vật kính dễ dàng.
   • Có khả năng định tâm từng vật kính để đảm bảo độ chính xác quang học.

6. Điều chỉnh lấy nét:

   • Núm điều chỉnh thô và tinh đồng trục, với hành trình lấy nét dài (thường 40mm).
   • Độ chia đọc tinh (fine adjustment) 1 µm, đảm bảo khả năng lấy nét chính xác trên các mẫu vật.

7. Tích hợp với Hệ thống máy ảnh kỹ thuật số Nikon Digital Sight và phần mềm NIS-Elements:

   • Có cổng gắn camera (camera port) để kết nối với các dòng camera Nikon Digital Sight (ví dụ: DS-Fi3, DS-Ri2).
   • Phần mềm NIS-Elements cho phép chụp ảnh, quay video, thực hiện các phép đo và phân tích hình ảnh nâng cao, quản lý dữ liệu.
   • Hệ thống có khả năng tự động nhận diện thông tin vật kính và điều chỉnh hiệu chuẩn trong phần mềm.

8. Thiết kế công thái học:

   • Các nút điều khiển được đặt ở vị trí thuận tiện, và ống thị kính có thể điều chỉnh góc nghiêng (tùy chọn) giúp người dùng thoải mái hơn khi sử dụng trong thời gian dài.