I. Ứng dụng của Kính Hiển Vi Kim Tương Công Nghiệp ECLIPSE L200N 

Nikon Eclipse L200N là một công cụ mạnh mẽ, được sử dụng rộng rãi trong các ứng dụng kiểm tra chất lượng và nghiên cứu đòi hỏi độ chính xác cao, đặc biệt là với các mẫu vật lớn như wafer:

1. Kiểm tra và phân tích bán dẫn:

   • Kiểm tra wafer: Phát hiện khuyết tật, vết nứt, hạt bẩn, sai lệch trong quá trình chế tạo mạch tích hợp (IC) trên wafer silicon đường kính 200mm.
   • Kiểm tra photomask và reticle: Đánh giá chất lượng của các khuôn mẫu dùng để tạo mạch.
   • Phân tích cấu trúc lớp mỏng, các đường mạch siêu nhỏ.
   • Kiểm tra FPD (Flat Panel Displays - Màn hình phẳng).

2. Kiểm tra linh kiện điện tử:

   • Đánh giá chất lượng của các linh kiện điện tử mật độ cao (SMD), bo mạch in (PCB), vỏ bọc IC.
   • Phát hiện lỗi hàn, lỗi kết nối.

3. Khoa học vật liệu và luyện kim:

   • Quan sát cấu trúc vi mô của các vật liệu kim loại (hạt, pha, bao thể), gốm sứ.
   • Phân tích các mối hàn, bề mặt vật liệu để đánh giá chất lượng và tìm nguyên nhân hư hỏng.

4. Kiểm soát chất lượng và R&D:

   • Là công cụ không thể thiếu trong các phòng kiểm soát chất lượng nghiêm ngặt và các trung tâm nghiên cứu phát triển vật liệu, công nghệ mới.

II. Các tính năng và công nghệ nổi bật của Kính Hiển Vi Kim Tương Công Nghiệp ECLIPSE L200N 

Nikon Eclipse L200N được trang bị nhiều công nghệ tiên tiến để đảm bảo hiệu suất cao và vận hành tiện lợi:

1. Hệ thống quang học CFI60 LU/L cao cấp:

   • Sử dụng hệ thống quang học vô cực (Infinity Optical System) CFI60 LU/L của Nikon, được tối ưu hóa đặc biệt cho quan sát công nghiệp.
   • Mang lại hình ảnh với độ tương phản cao, độ phân giải vượt trội và trường nhìn rộng (có thể lên đến 25mm với thị kính UW 10x), cho phép quan sát chi tiết trên các mẫu lớn.
   • Các vật kính L Plan Fluor BD hoặc LU Plan Fluor BD được thiết kế cho khả năng quan sát trường sáng (Brightfield) và trường tối (Darkfield), DIC, phân cực với chất lượng vượt trội.

2. Hệ thống chiếu sáng phản xạ (Episcopic Illumination) mạnh mẽ:

   • Sử dụng nguồn sáng Halogen 12V-50W cường độ cao (LV-LH50PC) hoặc có thể là LED (tùy cấu hình), cung cấp độ sáng vượt trội và đồng đều.
   • Hỗ trợ đa dạng các phương pháp quan sát:
     • Trường sáng (Brightfield - BF): Quan sát tiêu chuẩn.
     • Trường tối (Darkfield - DF): Cho hình ảnh sáng hơn gấp ba lần so với các mẫu trước đây, lý tưởng để phát hiện các khuyết tật bề mặt, vết trầy xước.
     • Tương phản nhiễu xạ vi sai (Differential Interference Contrast - DIC): Cung cấp hiệu ứng 3D nổi bật cho các chi tiết nhỏ trên bề mặt.
     • Phân cực đơn giản (Simple Polarizing - POL): Để kiểm tra ứng suất, phân tích vật liệu lưỡng chiết.
   • Tích hợp bộ nguồn cho điều khiển động cơ, điều khiển cường độ ánh sáng và màng khẩu độ.

3. Bàn mẫu lớn và chính xác:

   • Thiết kế để phù hợp với wafer 200mm và các mẫu vật lớn khác.
   • Có thể là bàn X-Y tự động (motorized stage) với hành trình lên đến 205 x 205 mm (ví dụ: L2-S8A 8x8 stage), cho phép định vị mẫu chính xác và lặp lại.
   • Khả năng chuyển đổi chuyển động thô/tinh và điều khiển chuyển động tinh X-Y ở vị trí cố định.

4. Mâm vật kính động cơ hóa (Motorized Nosepiece):

   • Thường là mâm vật kính 6 lỗ tự động (Sextuple Universal Nosepiece), có thể điều khiển bằng bộ điều khiển từ xa hoặc máy tính.
   • Bao gồm khe cắm cho phụ kiện DIC.
   • Thiết kế chống tĩnh điện và bảo vệ khỏi hạt lạ rơi xuống mẫu.

5. Thiết kế công thái học và chống nhiễm bẩn:

   • Các nút điều khiển được đặt thấp và gần người vận hành để đảm bảo sự thoải mái trong quá trình sử dụng lâu dài.
   • Thiết kế tuân thủ tiêu chuẩn SEMI S2-0200 và S8-0600.
   • Bề mặt kính hiển vi được phủ lớp chống tĩnh điện để ngăn các hạt lạ bám vào.
   • Mâm vật kính động cơ hóa có động cơ được che chắn, giữ các hạt lạ bên trong, ngăn chúng rơi xuống mẫu.

6. Ống thị kính nghiêng (Tilting Eyepiece Tube):

   • Ống thị kính ba mắt nghiêng hình ảnh thuận (L2-TT2A Ultrawide Tilting Trinocular Eyepiece Tube), có thể điều chỉnh góc nghiêng liên tục từ 0° đến 30°, mang lại sự thoải mái tối ưu cho người sử dụng với các chiều cao khác nhau.
   • Trường nhìn siêu rộng (Field of View - FOV) lên đến 25mm.

7. Tích hợp với hệ thống hình ảnh kỹ thuật số Nikon:

   • Có cổng gắn camera để kết nối với các dòng camera Nikon Digital Sight (ví dụ: DS-Fi3, DS-Ri2) và sử dụng phần mềm NIS-Elements để chụp ảnh, quản lý dữ liệu, phân tích hình ảnh và tạo báo cáo.

Nikon ECLIPSE L300N (D) và L200N (D)

Những kính hiển vi này dùng để kiểm tra quang học đặc biệt chính xác các tấm wafer (200mm đối với sê-ri L200N và 300mm đối với sê-ri L300N), lưới và các chất nền khác.

Nikon CFI60-2 quang Series

Thiết kế sáng tạo của Nikon cho phép các kỹ thuật hình ảnh rõ ràng, bao gồm độ tương phản cao, trường sáng, trường tối, phân cực (POL), độ tương phản nhiễu vi sai (DIC) và độ tương phản quang giao thoa chùm tia đôi.

Nikon Digital Sight Cameras

Các phạm vi đầy đủ của Nikon của máy ảnh kỹ thuật số hiệu quả chụp ảnh của một mẫu và cung cấp chúng cho các phần mềm xử lý hình ảnh của bộ NIS-Elements, cùng với dữ liệu kính hiển vi trên các ống kính khách quan được sử dụng, cài đặt phóng đại và cường độ ánh sáng.

Tích hợp L200N và Wafer Loader NWL200

Máy xúc lật wafer Nikon được chấp nhận và tin tưởng trong ngành công nghiệp bán dẫn và nhiều cài đặt đang được sử dụng ngày nay.

Điểm nổi bật của sản phẩm

Nikon CFI60-2 quang Series

Thiết kế sáng tạo của Nikon cho phép các kỹ thuật hình ảnh rõ ràng, bao gồm độ tương phản cao, trường sáng, trường tối, phân cực (POL), độ tương phản nhiễu vi sai (DIC) và độ tương phản quang giao thoa chùm tia đôi.

Phương pháp tương phản quang học phổ quát

Ánh sáng phản xạ: trường sáng, trường tối, phân cực (POL), độ tương phản nhiễu vi sai (DIC), huỳnh quang epi và giao thoa kế hai chùm tia.
Ánh sáng truyền qua: trường sáng, trường tối, phân cực, độ tương phản nhiễu vi sai và độ tương phản pha.

Giao tiếp kỹ thuật số thông minh

Kính hiển vi phát hiện và điều khiển ống kính khách quan đang sử dụng, cường độ ánh sáng, chiếu sáng bằng kính hiển vi và khẩu độ thông qua kết nối USB với phần mềm NIS-Elements của Nikon.

Khái niệm thiết kế công thái học

Định vị tối ưu các điều khiển của người vận hành với ống mắt góc thay đổi cho phép làm việc không mệt mỏi.
Một hình ảnh đúng cách, đúng hướng xung quanh được cung cấp để quan sát chính xác các nguyên liệu thô, chất bán dẫn và các thành phần công nghiệp.

Liên hệ Đại lý chính hãng NIKON tại Việt Nam:

CÔNG TY TNHH NI VINA

VP Hà Nội:  Ô DV3-2.10, tầng 2, Tòa nhà CT2&3, KDT Dream Town,Tây Mỗ, Nam Từ Liêm, Hà Nội

VP HCM: Số 77, Tân Quỳ Tân Quý, Phường Tân Sơn Nhì, Quận Tân Phú, TPHCM

Hotline: 096.465.0110/ Email:marketing@nivina.com.vn

https://www.facebook.com/KinhhienviNikon/

Zalo OA: NI VINA instruments (https://zalo.me/189556001052974257)