Máy đo NEXIV VMZ-NWL200 là một hệ thống tự động hóa hoàn toàn, mang đến khả năng đo lường kích thước, hình dạng và các đặc điểm phức tạp trên các tấm bán dẫn (wafers) với tốc độ và độ chính xác vượt trội. Mục tiêu chính của hệ thống này là giải quyết các thách thức về đo lường trong quá trình sản xuất bán dẫn (đặc biệt là giai đoạn back-end), nơi yêu cầu độ chính xác cao và giảm thiểu sự phụ thuộc vào thao tác thủ công.
Độ tin cậy cao
Vì VMZ-NWL200 đo tự động và nhất quán nên loại bỏ được sự thay đổi của kết quả do cách diễn giải khác nhau của người vận hành. Ngoài ra, Nikon tận dụng thế mạnh của mình là nhà sản xuất thiết bị quang học để cung cấp hình ảnh rõ nét nhằm phát hiện chính xác các cạnh của đối tượng kiểm tra.

Hiệu quả cao
Kiểm tra bằng VMZ-NWL200 có thể bắt đầu chỉ bằng một cú nhấp chuột. Hơn nữa, năng suất đo lường gấp ba lần so với kính hiển vi đo lường. Hiệu quả cao của hệ thống đo lường video cung cấp COO (Chi phí sở hữu) thấp.

Khả năng vận hành cao
Vì đồ họa của wafer được hiển thị trên GUI nên người vận hành có thể chỉ định chip cần đo bằng cách chỉ cần nhấp chuột vào điểm đó.

Ứng Dụng Chính Máy đo NEXIV VMZ-NWL200
NEXIV VMZ-NWL200 được thiết kế chuyên biệt để đáp ứng các nhu cầu đo lường khắt khe trong ngành công nghiệp bán dẫn, đặc biệt là ở các giai đoạn:
- Kiểm tra chất lượng wafer sau sản xuất:
- Đo lường kích thước, hình dạng và các thông số hình học của các mạch tích hợp (IC) trên wafer.
- Kiểm tra các cấu trúc nhỏ như micro bumps, bonding pads, và vias.
- Đánh giá độ phẳng và các khuyết tật bề mặt của wafer.
- Kiểm soát quá trình back-end:
- Đo lường sau các bước như dicing (cắt chip), packaging (đóng gói chip), giúp đảm bảo chất lượng sản phẩm cuối cùng.
- Kiểm tra kích thước chân chip, vị trí, và các đặc điểm liên quan đến đóng gói.
- Nghiên cứu và Phát triển (R&D) bán dẫn:
- Phân tích đặc tính hình học của các thiết kế chip mới, vật liệu wafer mới.
- Thử nghiệm và tối ưu hóa các quy trình sản xuất wafer mới.
- Các ứng dụng đòi hỏi tự động hóa và độ chính xác cao:
- Giúp các nhà sản xuất bán dẫn khắc phục tình trạng thiếu hụt kỹ thuật viên có tay nghề, đồng thời tăng cường độ tin cậy và hiệu quả trong kiểm soát chất lượng.
Liên hệ Đại lý chính hãng NIKON tại Việt Nam:
CÔNG TY TNHH NI VINA
VP Hà Nội: Ô DV3-2.10, tầng 2, Tòa nhà CT2&3, KDT Dream Town,Tây Mỗ, Nam Từ Liêm, Hà Nội
VP HCM: Số 77, Tân Quỳ Tân Quý, Phường Tân Sơn Nhì, Quận Tân Phú, TPHCM
Hotline: 096.465.0110/ Email:marketing@nivina.com.vn
Facebook: Thiết Bị Đo Kiểm NI VINA
Zalo OA: NI VINA instruments
*1 Cần đánh giá chuyển giao wafer trước khi bán
*2 Thời gian chuyển giao cho 25 wafer không bao gồm thời gian đo lường